一种蚀刻机用药水自动添加装置
电 话：0991-6663985
联系人：杨辉
地 址：新疆乌鲁木齐新市区河南东路739号自治区中小企业服务中心1号楼102室
成果介绍
(21)申请号 202023218340 .1
(22)申请日 2020 .12 .28
(73)专利权人 陈玲霜
地址 510000 广东省广州市荔湾区龙津东
路787号1801房
(72)发明人 陈玲霜
(51)Int .Cl .
C23F 1/08(2006 .01)
(54)实用新型名称
一种蚀刻机用药水自动添加装置
(57)摘要
本实用新型公开了一种蚀刻机用药水自动
添加装置，包括第一立板、第二立板、底板、顶板
和XYZ位移平台，所述第一立板和第二立板底部
均焊接有底板，所述底板底部拐角处均贯穿设置
有安装孔，所述第一立板和第二立板顶端之间焊
接有顶板，所述顶板底部通过螺栓安装有XYZ位
移平台，所述XYZ位移平台的位移端为位移框板，
所述位移框板底部通过螺钉安装有药水喷腔，所
述药水喷腔底部通过安装孔安装有喷水管，所述
位移框板一端通过螺钉固定安装有连接板且连
接板一端连接有药水存储箱。该新型能方便带动
喷头在XYZ方向上进行移动，能方便对喷头部分
进行拆卸，还能方便对喷头部分进行拆卸后清
洁，安装时稳固性好，适合广泛推广使用。
202023218340.1.pdf
阅读全文
