一种蚀刻机废气处理装置

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号 CN 213790825 U

(45)授权公告日 2021.07.27

(21)申请号 202022367902.2

(22)申请日 2020.10.22

(73)专利权人 王莉

地址 510000 广东省广州市天河区禺东西路38号62栋110房

(72)发明人 王莉

(51)Int.Cl.

B01D 53/18(2006.01)

B01D 50/00(2006.01)

权利要求书1页 说明书3页 附图3页

摘要

本实用新型公开了一种蚀刻机废气处理装置，包括处理柜、第一排气管、水处理套、抽气扇和轴流风机，所述处理柜内顶部通过箍筋架设安装有第一排气管，所述处理柜一端开设有抽气口，所述抽气口内通过螺栓安装有抽气扇，所述处理柜另一端连接有第二排气管，所述抽气口排气端上套接有水处理套，所述水处理套内壁固定安装有分水管，所述分水管出水端安装有喷头，所述水处理套顶部设有出气套，所述水处理套一端开设有出气口，所述出气套进气端通过L型气管与水处理套的出气口连接，所述第一排气管进气端与出气套的出气端连接。使气体内的氯等有害化学物有效溶于水中，由水对气体进行过滤，且过滤处理后的水则排送流入废水箱内，实现对蚀刻机加工产生的废气进行处理。

权利要求书

1. 一种蚀刻机废气处理装置，包括处理柜(1)、第一排气管(2)、水处理套(9)、抽气扇(8)和轴流风机(4)，其特征在于，所述处理柜(1)内顶部通过箍筋架设安装有第一排气管(2)，所述处理柜(1)一端开设有抽气口(7)，所述抽气口(7)内通过螺栓安装有抽气扇(8)，所述处理柜(1)另一端连接有第二排气管(5)，所述抽气口(7)排气端上套接有水处理套(9)，所述水处理套(9)内壁固定安装有分水管(10)，所述分水管(10)出水端安装有喷头(11)，所述水处理套(9)顶部设有出气套(3)，所述水处理套(9)一端开设有出气口(13)，所述出气套(3)进气端通过L型气管(14)与水处理套(9)的出气口(13)连接，所述第一排气管(2)进气端与出气套(3)的出气端连接，所述水处理套(9)底部排水端连接有废水箱(12)。
2. 根据权利要求1所述的一种蚀刻机废气处理装置，其特征在于：所述L型气管(14)进气端内的顶部和底部分布交错安装有竖向挡水板(15)，所述L型气管(14)出气端内交错排布安装有倾斜式挡水板(18)，所述L型气管(14)内且位于倾斜式挡水板(18)顶部安装有挡水网(19)。
3. 根据权利要求1所述的一种蚀刻机废气处理装置，其特征在于：所述处理柜(1)内一侧通过螺栓安装有水泵(21)，所述水泵(21)的出水端通过管道与分水管(10)进水端连接。
4. 根据权利要求1所述的一种蚀刻机废气处理装置，其特征在于：所述第一排气管(2)另一端套接有轴流风机(4)。
5. 根据权利要求1所述的一种蚀刻机废气处理装置，其特征在于：所述处理柜(1)一侧底部通过铰链安装有开关门(17)，所述处理柜(1)一侧顶部通过螺栓安装有检修盖(16)。
6. 根据权利要求1所述的一种蚀刻机废气处理装置，其特征在于：所述废水箱(12)底部一侧设有放水口，所述处理柜(1)底部通过螺栓安装有可制动万向轮。
7. 根据权利要求1所述的一种蚀刻机废气处理装置，其特征在于：所述L型气管(14)底部依次开设排水嘴(20)。
8. 根据权利要求1所述的一种蚀刻机废气处理装置，其特征在于：所述第一排气管(2)的出气端与第二排气管(5)进气端连接，所述第二排气管(5)上套接有单向阀(6)。

说明书

技术领域

[0001] 本实用新型涉及蚀刻机技术领域，特别涉及一种蚀刻机废气处理装置。

背景技术

[0002] 传统的蚀刻机作业时，其蚀刻用的化学盐酸氯离子是负一价，次氯酸钠中氯离子是正一价，蚀刻冒烟后，产生氧化还原后，会生成氯气了，会对周边作业人员造成较大伤害，缺乏良好的废气处理部件。为此，我们提出一种蚀刻机废气处理装置。

实用新型内容

[0003] 本实用新型的主要目的在于提供一种蚀刻机废气处理装置，通过抽气扇将蚀刻机的处理箱内的废气抽出，并排至水处理套内，通过水泵的工作，可有效将外界水源抽送至分水管内，并由分水管上的喷头对经过水处理套内气体进行喷洒，从而使气体内的氯等有害化学物有效溶于水中，由水对气体进行过滤，且过滤处理后的水则排送流入废水箱内，实现对蚀刻机加工产生的废气进行处理，可以有效解决背景技术中的问题。

[0004] 为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

[0005] 一种蚀刻机废气处理装置，包括处理柜、第一排气管、水处理套、抽气扇和轴流风机，所述处理柜内顶部通过箍筋架设安装有第一排气管，所述处理柜一端开设有抽气口，所述抽气口内通过螺栓安装有抽气扇，所述处理柜另一端连接有第二排气管，所述抽气口排气端上套接有水处理套，所述水处理套内壁固定安装有分水管，所述分水管出水端安装有喷头，所述水处理套顶部设有出气套，所述水处理套一端开设有出气口，所述出气套进气端通过L型气管与水处理套的出气口连接，所述第一排气管进气端与出气套的出气端连接，所述水处理套底部排水端连接有废水箱。

[0006]-[0012] (此处省略说明书中进一步地描述的细节，因为篇幅过长)

[0013] 与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

[0014]-[0015] (此处省略说明书中有益效果的描述，因为篇幅过长)

附图说明

[0016]-[0020] (此处省略附图说明，因为篇幅过长)

具体实施方式

[0021]-[0035] (此处省略具体实施方式的描述，因为篇幅过长)

     202022367902.2.pdf